傳統的,為了保證樣品在真空環境中傳遞,通常利用真空轉移箱來進行傳遞。真空轉移箱具有良好的真空密封性能,進行操作時,首先將真空轉移箱安裝到樣品腔體中,利用樣品傳輸工具將樣品轉移到真空箱內,密封后,將真空箱取下,然后再安裝到測試設備或分析設備的指定窗口,再利用進樣工具將樣品取出,然后再安裝到測試設備或分析設備的樣品臺上。這種方式操作繁瑣,而且真空轉移箱通用性不強。
[0004]為了解決上述問題,現有技術如中國zhuanliCN203849265U公開了一種超-高真空樣品轉移設備,其采用磁力傳樣桿實現在真空管路內部傳遞樣品,從而保證樣品在傳遞過程中一直處于超-高真空環境中。該設備進行樣品轉移時,將磁力傳樣桿穿過手閥,伸至樣品制備系統中通過磁力傳樣桿端部的機械手抓取樣品,抓住樣品后,回撤磁力傳樣桿,將樣品從超-高真空樣品制備系統傳送到樣品轉移腔中放開機械手,實現傳樣。